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      VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

      VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱
      本產(chǎn)品適用于半導體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
      產(chǎn)品型號:
      生產(chǎn)地址: 上海
      廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家
      發(fā)布時間: 2024-09-26

      產(chǎn)品概述

      品牌其他品牌應用領域化工,石油,電子/電池,航空航天,電氣

      VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

      本產(chǎn)品適用于半導體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。

      型號

      VOD-90

      VOD-210

      VOD-216

      真空度

      ≤10 pa

      電源

      AC380V 3φ 50HZ

      功率(KW)

      12

      18

      20

      工作環(huán)境溫度

       

      性能

      溫度范圍

      RT+10℃~450

      升溫時間

      2 /minute~4 ℃/minute

      降溫時間

      2 /minute~4 ℃/minute

      (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

      結(jié)構

      外殼

      冷扎碳鋼板,經(jīng)防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷

      內(nèi)膽

      5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內(nèi)外表面拋光

      保溫材料

      厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好

      箱門

      真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)

      真空泵

      LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);

      加熱系統(tǒng)

      四面輻射加熱

      電器系統(tǒng)

      系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停; 

      溫控輸出

      SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態(tài)繼電器  

      安全保護

      加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、

      缺相保護、電爐超溫報警等功能

      內(nèi)容積(L))

      91

      215

      252

      內(nèi)部尺寸(㎜)

      W450×D450×H450

      W560×D640×H600

      W700×D600×H600

      外部尺寸(㎜)

      W800×D800×H1715

      W910×D990×H1865

      W1050×D950×H1865

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